សេចក្តីសង្ខេបលម្អិតនៃក្បាលផ្សារឡាស៊ែរហោះ

សេចក្តីសង្ខេបលម្អិតនៃក្បាលផ្សារឡាស៊ែរហោះ

វាគ្របដណ្តប់លើឈ្មោះសមាសធាតុ និយមន័យ គោលការណ៍ ប៉ារ៉ាម៉ែត្ររចនា និងការគណនារូបមន្ត ហើយអាចអនុវត្តបានចំពោះការផ្សារដែកស្កេនល្បឿនលឿន(ដូចជាប្រព័ន្ធហ្គាវ៉ាល់ណាម៉ែត្រ) ឬកម្មវិធីផ្សារដែកពីចម្ងាយ។

១. សមាសភាព និងនិយមន័យនៃក្បាលផ្សារឡាស៊ែរសម្រាប់ផ្សារដែកហោះ

ការផ្សារដែកហោះ (ការផ្សារដែកឡាស៊ែរស្កេន) សម្រេចបាននូវការផ្តោតថាមវន្តតាមរយៈហ្គាល់វ៉ាណូម៉ែត្រល្បឿនលឿនដែលឆ្លុះបញ្ចាំងពីធ្នឹមឡាស៊ែរ ហើយវាសមរម្យសម្រាប់តំបន់ធំ និងការផ្សារដែកល្បឿនលឿនសមាសធាតុស្នូលរបស់វាមានដូចខាងក្រោម៖

១. ម៉ូឌុល​វាស់​ពន្លឺ​ធ្នឹម

កូលីម៉ាទ័រ

មុខងារ៖ បំលែងឡាស៊ែរឌីវើរជិន (NA=0.1~0.22) ដែលបញ្ចេញដោយសរសៃអុបទិកទៅជាធ្នឹមប៉ារ៉ាឡែល។

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗ៖ ប្រវែងប្រសព្វ fcoll, អង្កត់ផ្ចិតធ្នឹមកូឡាជែន Dcoll។

រូបមន្ត៖

១.២ ប្រព័ន្ធស្កេនហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ

កញ្ចក់ Galvo អ័ក្ស X/Y

មុខងារ៖ ផ្លាស់ប្តូរទិសដៅនៃធ្នឹមពន្លឺតាមរយៈកញ្ចក់បង្វិលល្បឿនលឿន ដើម្បីសម្រេចបាននូវការស្កេនប្លង់ពីរវិមាត្រ។

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗ៖ ល្បឿនស្កេន (ជាធម្មតា ≥10m/s) ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំងម្តងទៀត (<±5μrad) ទំហំកញ្ចក់ (ត្រូវគ្របដណ្តប់អង្កត់ផ្ចិតធ្នឹម Dcoll)។

ម៉ូទ័រហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ៖ ម៉ូទ័រស៊ែវ័រ ឬ ម៉ូទ័រហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ ដែលមានពេលវេលាឆ្លើយតប <1ms។

១.៣ ម៉ូឌុលផ្តោតថាមវន្ត (កែវ F-Theta ឬកែវ Galvanometer + កែវ Flat-Field)

កែវភ្នែក F-Theta

អនុគមន៍៖ បម្លែងមុំផ្លាតនៃហ្គាល់វ៉ាណូម៉ែត្រទៅជាការផ្លាស់ទីលំនៅលីនេអ៊ែរនៅលើប្លង់ដើម្បីរក្សាភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃការផ្តោតអារម្មណ៍។

រូបមន្តសំខាន់ៗ៖

២. គោលការណ៍ធ្វើការ

ផ្លូវធ្នឹម៖ ឡាស៊ែរ → កូលីម៉ាទ័រ → ហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ X → ហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ Y → កែវ F-Theta → ផ្ទៃការងារ។

ការផ្តោតអារម្មណ៍ថាមវន្ត៖

នៅពេលដែលមុំផ្លាតរបស់ហ្គាល់វ៉ាណូម៉ែត្រគឺ θ ទីតាំងផ្តោត (x, y) ត្រូវបានបំលែងដោយកែវ F-Theta ដូចខាងក្រោម៖

៣. ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ និងរូបមន្តរចនាសំខាន់ៗ

៣.១ ការគណនាទំហំចំណុច

អង្កត់ផ្ចិតចំណុចផ្តោត d (ដែនកំណត់ឌីផ្រាក់ស្យុង):

៣.២ ជួរស្កេន និងមុំហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ

ជួរស្កេនអតិបរមា L:

៣.៣ ល្បឿន និងការបង្កើនល្បឿននៃការផ្សារដែក

ល្បឿនលីនេអ៊ែរ v

៣.៤ ជម្រៅនៃការផ្តោតអារម្មណ៍ (DOF)

៣.៥ ដង់ស៊ីតេថាមពល និងការបញ្ចូលថាមពល

ដង់ស៊ីតេថាមពល I:

ដង់ស៊ីតេថាមពល E (ការផ្សារជីពចរ):

៤. ភាពមិនប្រក្រតី និងការរចនាការបង្កើនប្រសិទ្ធភាព

៤.១ ការកែតម្រូវភាពមិនប្រក្រតីនៃកែវថត F-Theta

ការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយ៖ វាត្រូវបំពេញ r∝θ ហើយការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយមិនមែនលីនេអ៊ែរគួរតែមាន <0.1%។

ភាពកោងនៃវាល៖ រចនាវាលរាបស្មើតាមរយៈក្រុមកែវភ្នែកច្រើន។

៤.២ កំហុសក្នុងការធ្វើសមកាលកម្មហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ

ការពន្យាពេលហ្គាល់វ៉ាណូម៉ែត្រ X/Y គួរតែមាន <1μs ដើម្បីជៀសវាងចំណុចរាងអេលីប។

៥. ឧទាហរណ៍នៃដំណើរការរចនា

តម្រូវការ​បញ្ចូល៖ ជួរ​ស្កេន L, ទំហំ​ចំណុច d, ល្បឿន​ផ្សារ v។ ជ្រើសរើស​កែវ F-Theta៖ កំណត់ fθ យោង​តាម L=2fθtan(θmax)។

គណនាប៉ារ៉ាម៉ែត្រហ្គាឡង់ណូម៉ែត្រ៖ ល្បឿនមុំ ω=v/fθ ហើយផ្ទៀងផ្ទាត់ដំណើរការហ្គាឡង់ណូម៉ែត្រ។

ផ្ទៀងផ្ទាត់គុណភាពចំណុច៖ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពភាពមិនប្រក្រតីនៃក្រុមកែវថតតាមរយៈ Zemax/OpticStudio។

៦. ការប្រុងប្រយ័ត្ន

ការគ្រប់គ្រងកម្ដៅ៖ ហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រ និងកែវត្រូវការទឹកត្រជាក់ក្រោមថាមពលខ្ពស់ (ដូចជា >1kW)។

ការការពារប្រឆាំងនឹងការប៉ះទង្គិច៖ ហ្គាវ៉ាណូម៉ែត្រត្រូវការហ្វ្រាំងបន្ទាន់ដើម្បីជៀសវាងការប៉ះទង្គិចមេកានិច។

ការក្រិតតាមខ្នាត៖ ក្រិតតាមខ្នាតកូអាកស៊ីលីតេនៃផ្លូវអុបទិកជាប្រចាំ (គម្លាត <0.05mm)។